TOC超純水 電子級水 超純水設(shè)備

電子級水概念明晰：

在電子行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)中，用水標(biāo)準(zhǔn)是極為嚴(yán)格的。在這些行業(yè)中，無論是材料、電子元件、電路板，還是設(shè)備等的清洗工作，對水質(zhì)的要求都需要達(dá)到高純水的級別。電子級水通常指需電子行業(yè)用水，其水中要去除細(xì)菌、泥沙、膠體、懸浮物、金屬這些導(dǎo)電雜質(zhì)。

其電阻率≥18MΩ/cm（25℃，EW-I）。

     《中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn):電子級水(GB/T 11446.1-2013)》將原電子級水級別由5級改為4級，技術(shù)內(nèi)容增加了金屬鎳、硝酸根、磷酸根、硫酸根等指標(biāo)；增加了有關(guān)水的詞匯，本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國電子工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所歸口。

電子級水檢測指標(biāo)：

1、電阻率的測定

2、全硅的測定

3、微粒數(shù)的測定:0.05μm-0.1μm、0.1μm-0.2μm、0.2μm-0.3μm、0.3μm-0.5μm、＞0.5μm

4、水中痕量金屬檢測項(xiàng)目：銅、鋅、鎳、鈉、鉀、鐵、鉛、氟、氯

5、細(xì)菌個數(shù)的測定

6、痕量陰離子檢測項(xiàng)目：亞硝酸根離子、硝酸根離子、硫酸根離子、磷酸根離子

7、總有機(jī)碳得測定

8、溴含量測定

電子級水檢測、高純水檢測、電子工業(yè)清洗用水檢測，這些適用于GB/T 11446系列標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)然除了電子工業(yè)，半導(dǎo)體工業(yè)，在微電子工業(yè)、發(fā)電工業(yè)、制藥行業(yè)以及實(shí)驗(yàn)室等眾多領(lǐng)域的清洗用水，也可以參考GB/T 11446檢測。理論上高純水的電阻率要求達(dá)到18.3MΩ.cm.很多時候抽檢檢測只需要檢測電阻率、鈉離子、全硅這三個指標(biāo)即可。

超純水之于微電子的重要性

在微電子行業(yè)生產(chǎn)制備中，超純水主要用于清洗硅片，少量用于制備藥液、硅氧化的水蒸氣源、一些設(shè)備的冷卻水、制備電鍍液等。微電子行業(yè)生產(chǎn)中80%的工序都需要用高純水來清洗硅片，水質(zhì)的好壞與微電子產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)量有很大關(guān)系。

? 水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜產(chǎn)生耐壓；

? 重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結(jié)電壓降低；

? III族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導(dǎo)體特性變差，V族元素(P、As、Sb等)會使P型半導(dǎo)體特性變差；

? 水中的細(xì)菌經(jīng)過高溫碳化后的磷（約占灰分的20-50%）會使P型硅片的局部區(qū)域變成N型硅片而導(dǎo)致器件性能變壞；

水中的微粒（包括細(xì)菌）如吸附在硅片表面，就會造成電路短路或特性變差