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      產(chǎn)品名稱:
      半導(dǎo)體超純水介紹
      產(chǎn)品品牌: 訪問量: 3053
      廠商性質(zhì): 生產(chǎn)廠家 更新時間: 2025-05-28

      半導(dǎo)體超純水介紹主要用于生產(chǎn)超純水過程中去除TOC有機物,降低TOC出水指標,使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標準及電子工業(yè)部電子級水水質(zhì)標準。

      產(chǎn)品概述

      半導(dǎo)體超純水介紹

      隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,對清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴格。由于超純水在許多指標上對半導(dǎo)體的要求很高,因此半導(dǎo)體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體行業(yè)對超純水有嚴格的水質(zhì)要求。目前,半導(dǎo)體所用的超純水需要達到的水質(zhì)標準為:我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標準(18MQ.cm、15MO.cm、10MO.cm、2M.O.cm、0.5M.O.cm五級標準),我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準,國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標準等。

      那么,如何產(chǎn)出高質(zhì)量的半導(dǎo)體超純水?

      建議采用“兩級RO+EDl+精混床除鹽水處理工藝”這類的超純水設(shè)備,可保證處理后的水電阻和電電阻達到18MO.cm以上。除了采用以上工藝外,結(jié)構(gòu)設(shè)計也需要相對緊湊,這樣一來占地面積小可為企業(yè)節(jié)省大量建設(shè)空間。這種半導(dǎo)體超純水設(shè)備出廠前都是需進行壓力測驗的,所以出現(xiàn)故障概率小。還可以配備反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),再次從根本上確保了水處理設(shè)備的出水質(zhì)量。

       

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      電子級水UV-TOC控制系統(tǒng)

      半導(dǎo)體超純水介紹產(chǎn)品規(guī)格:

      處理水量

      2~60m3/h

      燈管配置

      12~48支

      燈管類型

      85w/155w(185/254nm雙波段)

      石英套管

      T>80%@185nm

      鎮(zhèn)流器

      50~100%輸出功率可調(diào)

      反應(yīng)器材質(zhì)

      316L

      潔凈等級

      內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

      法蘭尺寸

      DN50~DN200

      額定壓力

      PN10

      控制柜等級

      IP55,碳鋼噴塑

      控制系統(tǒng)

      本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng)

      UV強度傳感器

      分辨率0.01mw/cm2

       

       

       


       

       

       

       

      集成電路超純水應(yīng)用領(lǐng)域:

      1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路板

      2. 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

      3. 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

      4. 黑白顯像管熒光屏的生產(chǎn)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗

      5. 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面清洗

      6. 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

      7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產(chǎn)

       

       

       

       

       

       

       

       

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